Modellierung der x- und y-Achse von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen

Gegenstand dieser Arbeit ist der Reglerentwurf einer Nanopositionier- und Nanomessmaschine, welche sich in einer Ebene translatorisch in x- und y-Richtung bewegt. Zusätzlich ist eine geringe Rotation um die z-Achse möglich. Es wird eine Modellbildung durchgeführt um eine Mehrgrößenregelung dieser dr...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Weiß, Heiko
Other Involved Persons: Amthor, Arvid ; Ament, Christoph
Format: Book
Language:German
Published: 2010
Physical Description:40 S.
Subjects:
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