Silizium-Halbleitertechnologie : Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik

Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Hilleringmann, Ulrich (Author)
Format: eBook
Language:German
Published: Wiesbaden : Springer Vieweg [2019]
Edition:7., überarbeitete und ergänzte Auflage
ISBN:9783658234447
365823444X
9783658234430
3658234431
Series:SpringerLink. Bücher
Physical Description:Online-Ressource (XI, 275 S. 177 Abb, online resource)
DOI:10.1007/978-3-658-23444-7
Subjects:
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Shelf Mark: -
Notes:
Online Access: http://dx.doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7
Availability: Available - Online.

Further Information:
https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7
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