Silizium-Halbleitertechnologie : Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik

Herstellung von Siliziumscheiben -- Oxidation des dotierten Siliziums -- Lithografie -- Ätztechnik -- Dotiertechniken -- Depositionsverfahren -- Metallisierung und Kontakte -- Scheibenreinigung -- MOS-Technologien zur Schaltungsintegration -- Erweiterungen zur Höchstintegration -- Bipolar-Technologi...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Hilleringmann, Ulrich (Author)
Format: eBook
Language:German
Published: Wiesbaden : Springer Vieweg 2019
Edition:7., überarbeitete und ergänzte Auflage
ISBN:9783658234447
365823444X
9783658234430
3658234431
Physical Description:1 Online-Ressource (XI, 275 Seiten, 177 Abb.)
DOI:10.1007/978-3-658-23444-7
Subjects:
Online Access:http://dx.doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 (UB Ilmenau)
Further Information:https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7
http://dx.doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7
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Shelf Mark: -
Notes: Campuslizenz TU Ilmenau
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Availability: Available - Online.
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