Fluor-basiertes Plasmatiefenätzen von Zerodur für mikrotechnische Anwendungen

Bibliographic Details
Published in:MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", (2017), Seite 662-665
Main Author: Weigel, Christoph (Author)
Other Involved Persons: Hoffmann, Martin Ulrich ; Schönefeld, Wolfgang
Format: electronic Article
Language:German
Published: [2017]
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